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寶德8711型氣體質量流量控制器

  • 更新時間:2024-11-06
  • 廠商性質:工程商
  • 產品廠地:上海市
  • 訪問次數:1039
產品特點:寶德8711型氣體質量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱MEMS傳感器可以實現*速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。8711 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口,既提供模擬標準信號,也提供現場總線。
產品介紹

寶德8711型氣體質量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現*速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。8711 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口,既提供模擬標準信號,也提供現場總線。8711 型質量流量控制器適合多樣化應用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗臺。

寶德8711型氣體質量流量控制器主要特點:
標稱流量范圍從 0.01 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復性高
調控速度特別快
選配:現場總線接口
技術數據:
控制范圍:1:50
建立時間:<3秒
重復性:±0.1%F.S.
操作氣體:中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1:5 ... 15000 mlN / min2)
校準氣體:使用轉換因子操作氣體或空氣
大工作壓力:10 bar(145 psi),取決于閥的孔口
環境溫度:-10 ... + 50°C,其他要求
介質溫度:-10 ... + 70°C(氧氣為-10 ... + 60°C)
建立時間:<3秒準確度:±1.5%o.R. ±0.3%F.S.(30分鐘預熱時間后)
額定流量值是大值,可以控制的流量值被校準,該額定流量范圍定義了可能的額定流量范圍(滿量程值)。
指數N:流量相對于1.013巴和0℃。
另外還有一個指數S可用,指的是1.013巴和20°C
工作原理:
主通道中的層流元件產生小的壓降,這通過旁路(傳感器管)驅動與主流成比例的小流量,兩個連接在測量橋上的加熱電阻受到不銹鋼管的影響。 在零流量狀態下,橋是平衡的,但是隨著流量的增加,熱量沿流動方向傳輸,橋變得不平衡。測量的動態受到作為熱障的管壁的限制。 通過在控制器中使用合適的軟件,可以獲得適用于各種應用的響應時間(在幾秒鐘的范圍內)。對于受污染的氣體,我們建議在上游安裝過濾器元件。 這樣可以避免主流量和傳感器管子之間的分配比率的變化,以及由傳感器管壁上的沉積物引起的傳熱變化。

 



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