311158寶德適用于氣體質量流量控制器
- 更新時間:2024-11-06
- 廠商性質:工程商
- 產品廠地:上海市
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311158寶德適用于氣體質量流量控制器必要時可以設置為 MFC 或者 MFM,且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎,Bürkert 特別為涉及多個控制回路(通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動)的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元 (SCU, System Control Unit) 將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中,并驅動所有相連的電子設備。 設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此,311158寶德適用于氣體質量流量控制器也可以集成到現有的 CANopen 基礎設施中。借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量(用作 MFM)或者調節(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外,測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準,使其用于測量/調節兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。
主要特點:
采用 MEMS 技術直接測量流量
額定流量范圍從0.010 lN / min到160 lN / min
高精度和可重復性
響應時間非常快
現場總線通信基于 CANopen
工作原理:
主通道中的層流元件產生小的壓降,這通過旁路(傳感器管)驅動與主流成比例的小流量,兩個連接在測量橋上的加熱電阻受到不銹鋼管的影響。 在零流量狀態下,橋是平衡的,但是隨著流量的增加,熱量沿流動方向傳輸,橋變得不平衡。測量的動態受到作為熱障的管壁的限制。 通過在控制器中使用合適的軟件,可以獲得適用于各種應用的響應時間(在幾秒鐘的范圍內)。對于受污染的氣體,我們建議在上游安裝過濾器元件。 這樣可以避免主流量和傳感器管子之間的分配比率的變化,以及由傳感器管壁上的沉積物引起的傳熱變化。